【時間】2025年3月13日（周四）下午14：30 開始

【地點】線下講座，8B214會議室

【主題】半導體晶圓的先進檢測與量測方案

【主講人介紹】  

    林樹培博士，2023年于華中科技大學獲理學博士學位，目前在華中科技大學從事博士後研究，研究方向為半導體精密光學檢測和量測納米顆粒探測研究，在Phys. Rev. Lett.、Opt. Lett. 等權威期刊發表SCI論文5篇，獲授權發明專利2項，主持國家自然科學基金委青年項目，獲中國博士後特别資助和2023年國家資助博士後計劃C檔。

【内容簡介】

    芯片是電子産品的心髒，承載着運算和存儲的功能，也是世界各國競争的重點領域。納米顆粒殘留在矽晶圓表面，會使芯片産生緻命缺陷，光學顯微方法檢測納米顆粒具有無損、低成本、高通量等優勢，但主流方案受限于散斑背景，無法檢測到矽晶圓表面直徑小于30 nm的顆粒，不能滿足先進制程芯片的缺陷檢測需求。研究人員猜測散斑可能源于非均勻性照明、光路缺陷、外界雜散光、矽晶圓表面起伏等，但尚無确定性結論。本報告将揭示散斑主要源于矽晶圓基片表面的亞納米起伏，介紹抑制散斑背景的方法，提供半導體晶圓缺陷檢測的新方案，還将介紹利用散斑實現半導體晶圓亞納米級位移和形變的測量方案。

 

誠摯歡迎廣大師生參加。